本報訊 （記者李昱丞）11月14日，據上海證券交易所（以下簡稱“上交所”）網站發布2025年第54次審議會議結果公告，深圳市恒運昌真空技術股份有限公司（以下簡稱“恒運昌”）科創板IPO申請已獲上交所上市審核委員審核通過。

    科創板政策賦能

    半導體硬科技企業成IPO核心力量

    自今年7月起，上交所科創板對硬科技企業，特別是半導體產業鏈中填補國內空白的企業，審核明顯提速，多家半導體產業鏈企業在短時間內順利審核過會——GUP企業摩爾線程智能科技（北京）股份有限公司從受理至注冊僅歷時四個月；GPU企業沐曦集成電路（上海）股份有限公司在2025年10月24日科創板IPO過會后，于11月13日獲得注冊發行批文；經過現場檢查的MEMS探針卡半導體企業強一半導體（蘇州）股份有限公司于11月12日順利過會。而恒運昌同樣在通過現場檢查后，于11月14日順利過會。

    恒運昌招股書顯示，公司作為圍繞等離子體工藝提供核心零部件整體解決方案的平臺型公司，其自主研發的第二代產品Bestda系列可支撐28納米制程，第三代產品Aspen系列可支撐7-14納米先進制程，達到國際先進水平。公司2022-2024年扣非后歸母凈利潤從1961.17萬元增至1.29億元。2022-2025年6月，公司研發投入累計達1.57億元，承接了3項國家級重大專項課題。

    恒運昌作為國產替代標桿企業，其成功過會不僅體現了科創板對硬科技企業的強力支持，同時，隨著科創板“服務新質生產力”的制度優化，可進一步通過資本市場的資源配置功能，加速國產半導體產業鏈的自主可控進程。

    恒運昌IPO募投藍圖

    構建半導體核心部件全鏈競爭優勢

    本次IPO恒運昌募集資金主要用于沈陽半導體射頻電源系統產業化建設項目、半導體與真空裝備核心零部件智能化生產運營基地項目、研發與前沿技術創新中心項目、營銷及技術支持中心項目以及補充流動資金。

    據悉，沈陽半導體射頻電源系統產業化建設項目是恒運昌產能擴張的重要組成部分，項目以公司現有產品和技術為依托，在沈陽設立子公司并作為北方根據地，主要開展半導體級等離子體射頻電源系統產品的生產和銷售，統籌區域內優勢資源，健全總部與子公司之間的分工合作機制。項目建設完成后，將進一步提升半導體級等離子體射頻電源系統的生產能力，擴展公司在北方地區的業務服務范圍，增加北方地區的客戶覆蓋深度。

    更具戰略意義的是半導體與真空裝備核心零部件智能化生產運營基地項目，項目將購置智能化軟件、硬件設備，建設自動化立體倉庫，配套建設智能化的供應鏈管理體系，以提升公司等離子體射頻電源系統、等離子體直流電源、等離子體激發裝置等產品的生產規模和生產效率。同時，項目將建設信息化業務管理平臺，旨在實現公司生產自動化和業務管理信息化、數字化。本項目建成后，將能夠提升公司相關產品的生產服務能力，以及在業務規劃、經營決策等方面整體提升公司的信息化管理能力。這一智能化生產基地將采用先進的生產工藝和自動化設備，大幅提升生產效率和產品一致性。

    研發與前沿技術創新中心項目是恒運昌保持技術領先的關鍵布局。作為技術密集型企業，恒運昌持續保持較高的研發投入。創新中心將致力于前瞻技術研究，包括信號采樣、相位鎖定等八大核心技術。公司已開始研發新一代等離子體射頻電源系統Cedar系列，該系列將射頻電源和匹配器整合為一體化平臺，可支撐5納米及以下先進制程，預計于2025年四季度推出樣機。

    營銷及技術支持中心項目通過在長三角、珠三角、京津冀、中西部等關鍵區域建立營銷及技術支持中心，能夠直接與終端晶圓廠溝通并獲取實時技術反饋，為客戶提供更加精準和定制化的技術服務，并且能夠直接參與到與終端晶圓廠的合作，第一時間獲悉先進制程對核心零部件的最新技術要求，從而提升整體的生產效率和產品的市場適應性，進一步提升品牌影響力，從而鞏固并擴大市場份額。

    資料顯示，恒運昌的產能利用率連續三年超過100%，分別達到121.34%、102.12%和111.24%。恒運昌方面表示，募投項目圍繞產能擴張、技術升級和市場拓展三大維度全面展開。隨著半導體產業鏈國產化替代加速，這些項目的實施將幫助公司突破產能瓶頸，提升技術水平，進一步鞏固其在半導體核心零部件領域的領先地位。

（編輯 郭之宸）