近日，士蘭微擬大手筆投資擴產碳化硅（SiC）功率器件生產線、汽車半導體封裝項目（一期），成為碳化硅產業鏈公司擴產的最新案例。上海證券報記者梳理發現，近期，碳化硅產業鏈上襯底片、外延片、芯片及器件各環節的國內外公司紛紛加入擴產隊伍，行業景氣度由此可見一斑。

    記者采訪了解到，碳化硅擴產背后的邏輯是，新能源汽車、電力電子、光伏等市場需求驅動產業規模快速增長，頭部公司擴大規模搶抓發展機遇。由于產業化提速帶來高增長，越來越多的碳化硅公司加快證券化步伐，燕東微、晶升裝備、天科合達、同光股份等已經走在IPO路上。

    需求旺盛忙擴產

    “近期主動找我們購買碳化硅襯底片檢測和測量設備、外延片外延膜厚測量設備的客戶很多。”近日，某本土半導體量測設備初創公司負責人告訴記者，該公司的FTIR（傅里葉變換紅外光譜自動化系統）設備恰好趕上了碳化硅需求爆發。

    談及碳化硅市場需求，聞泰科技企劃部部長鄧安明在接受記者采訪時表示，當前碳化硅景氣度持續提升，近期呈現供不應求態勢，主因是新能源汽車市場快速增長，電動汽車動力系統、車載電池充電裝置和充電基礎設施均對高壓功率器件有較大需求，尤其是800V高壓快充正在加速拉動碳化硅器件需求增長。此外，光伏市場對碳化硅器件也有很大需求。

    在需求驅動下，近期碳化硅產業鏈上襯底片、外延片、芯片及器件各環節的國內外公司紛紛披露了擴產計劃。

    例如，士蘭微近日披露，公司擬定增募集資金不超過65億元，其中7.5億元用于SiC功率器件生產線建設項目，該項目在現有芯片生產線及配套設施的基礎上提升SiC功率器件芯片的產能，用于生產SiCMOSFET、SiCSBD芯片產品；項目達產后，將新增SiCMOSFET芯片12萬片/年、SiCSBD芯片2.4萬片/年的生產能力。

    積極擴充碳化硅功率器件產能的還有時代電氣、斯達半導、新潔能等。時代電氣在近期接受機構調研時表示，公司已投資4.6億元對原有碳化硅產線進行產能提升，公司碳化硅產品在新能源車的驗證已取得重大進展。

    在更上游的碳化硅襯底片、外延片領域，國內外廠商也在積極擴產。記者關注到，天岳先進投資25億元擴產6英寸導電型碳化硅襯底材料；露笑科技定增募資25.67億元用于大尺寸碳化硅襯底片等項目。Wolfspeed、安森美、貳陸等國際公司也紛紛宣布了擴產計劃。

    頭部公司扎堆IPO

    伴隨產業化發展提速，一批碳化硅產業鏈頭部公司迅速崛起，踴躍向資本市場發起沖刺。

    記者注意到，天岳先進作為先行者，已于今年初率先登陸科創板；晶升裝備、燕東微的IPO已獲得科創板上市委審議通過；天科合達已于去年11月重啟輔導備案，再度沖刺科創板；河北同光半導體股份有限公司（簡稱“同光股份”）已進入輔導備案。

    值得一提的是，在碳化硅單晶爐業務上，晶升裝備的產品應用于國內碳化硅襯底材料制造，主要客戶包括三安光電、東尼電子及浙江晶越。作為國內知名的碳化硅襯底片公司，天科合達已經向國內60余家科研機構批量供應襯底片，并出口至歐美等20多個國家和地區。公開資料顯示，同光股份已實現了6英寸碳化硅襯底的量產。

    此外，近期終止IPO的恒普科技，主要從事金屬注射成型（MIM）脫脂燒結爐、碳化硅晶體生長爐、碳化硅同質外延設備等熱工裝備的研發、生產和銷售。公司已于2021年實現了碳化硅晶體生長爐的規模化銷售，目前正在研發8英寸碳化硅晶體生長爐。

    另值得關注的是，化合物半導體需求持續增長，吸引國內外廠商爭相布局。A股公司自然不會缺席，除了加碼產能，更多上市公司選擇投資初創公司。上述沖刺IPO的公司背后，就隱藏了不少上市公司的身影。

    天科合達此前披露，公司的控股股東為天富集團，合計持股21.86%；天富集團控股子公司天富能源披露其持股9.6%股權，為天科合達第二大股東。燕東微股東榜顯示，電子城持股2.22%，京東方間接持股9.14%。晶升裝備股東榜顯示，滬硅產業、中微公司、立昂微各持股0.9%。

    上市公司“搶食”產業盛宴

    很多上市公司已經通過投資切入碳化硅領域。

    民德電子披露，公司在SiC功率器件方面布局涉及SiC外延片、晶圓加工、超薄片背道代工、功率半導體設計等。目前，公司參股25.89%的晶睿電子已在著手準備SiC外延片的生產工作；參股40.38%的廣芯微電子從海外采購的SiC功率器件生產設備陸續運抵麗水倉庫，計劃明年實現SiC功率器件產品的量產；參股33.33%的芯微泰克明年投產后也將開展SiC器件背道減薄代工業務，目前已有多家意向儲備客戶。

    立霸股份在半年報中透露，公司參與投資了嘉興君鋒。2020年8月，公司出資6000萬元于嘉興君鋒完成投資至碳化硅功率器件、功率模塊及相應的驅動和控制芯片研發企業上海瞻芯電子科技有限公司（簡稱“上海瞻芯”）。嘉興君鋒持有上海瞻芯329.67萬注冊資本，對應股權6.45%。

    新能源公司也青睞碳化硅。東莞天域6月13日發生工商變更，新增股東比亞迪、上海尚頎頎盈商務咨詢合伙企業（有限合伙）等。6月27日，東莞天域再度進行了出資額和股東變更，新增股東之一為宜賓晨道新能源產業股權投資合伙企業（有限合伙），后者的股東之一問鼎投資是寧德時代的全資子公司。此外，寧德時代還投資了天科合達的子公司深圳市重投天科半導體有限公司。

    記者還注意到，廣汽集團旗下廣汽資本、藍海華騰、聞泰科技均投資了碳化硅功率器件公司基本半導體有限公司；匯川技術則投資了同光股份。